技術(shù)編號(hào)：3444253
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種多晶硅制取用還原爐電極。 背景技術(shù)目前，我國(guó)多晶硅生產(chǎn)的主要工藝是“改良西門子法”即用氯氣和氫氣合成氯化氫，氯化氫和硅粉在一定溫度下合成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行精餾提純，提純后的三氯氫硅和氫氣按一定比例混合后通入到還原爐中，在還原爐中通過電極和硅芯形成的回路，利用硅芯本身的電阻產(chǎn)生熱量，達(dá)到一定溫度下，三氯氫硅就會(huì)被氫氣還原成硅分子， 并在高溫的硅芯上沉積，最終形成多晶硅棒，并形成四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫等副產(chǎn)物?，F(xiàn)有技術(shù)中還未見...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。