技術(shù)編號(hào)：3444224
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及熱氫化C-C熱場(chǎng)，屬于四氯化硅熱氫化設(shè)備。屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。二背景技術(shù)目前多晶硅行業(yè)熱氫化工藝中，轉(zhuǎn)化爐熱場(chǎng)上的優(yōu)化是一大方向。目前多用的轉(zhuǎn)化爐熱場(chǎng)主要有該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)主要為單一的進(jìn)氣路設(shè)計(jì)和保溫?zé)釄?chǎng)，該類型石墨熱場(chǎng)材料分為兩種，純石墨材質(zhì)和碳碳復(fù)合材質(zhì)。以上熱場(chǎng)在運(yùn)行中仍面臨以上問題四氯化硅轉(zhuǎn)化率較低，最好的轉(zhuǎn)化率大約在22%，電耗在3_4kwh/kg三氯氫硅。轉(zhuǎn)化率低主要受制于換熱面積不足和換熱時(shí)間短。石墨熱場(chǎng)板材強(qiáng)度低做不到整體結(jié)構(gòu)拆裝，...
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