技術(shù)編號(hào)：3444222
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)，特別是涉及一種多晶硅還原爐用觀(guān)察視鏡和具有該觀(guān)察視鏡的多晶硅還原爐。背景技術(shù)多晶硅的生產(chǎn)工藝多采用的改良西門(mén)子法，主要為利用氫氣在高溫下對(duì)三氯氫硅的還原反應(yīng)，還原爐為進(jìn)行此反應(yīng)的關(guān)鍵設(shè)備。三氯氫硅和氫氣在混合器進(jìn)行混合后，通入還原爐，還原爐內(nèi)通過(guò)加熱電極進(jìn)行加熱，在硅棒表面形成約1100°c左右的高溫，三氯氫硅和氫氣在硅芯表面反應(yīng)沉積，從而生產(chǎn)多晶硅。還原爐作為多晶硅生產(chǎn)的主要設(shè)備，一直以來(lái)都備受各生產(chǎn)廠(chǎng)家和相關(guān)研究部門(mén)關(guān)注。還原...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。