技術(shù)編號：3443459
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及到的是一種用于多晶硅生產(chǎn)對于產(chǎn)生的氯化氫進行解析的裝置， 更具體的是，涉及到多晶硅尾氣回收的氯化氫解析。背景技術(shù)在多晶硅生產(chǎn)過程中，尾氣回收系統(tǒng)是用于回收三氯氫硅合成工序、三氯氫硅氫 還原工序及四氯化硅氫化工序產(chǎn)生的尾氣。在實際生產(chǎn)過程中三氯氫硅合成工序、三氯氫 硅氫還原工序及四氯化硅氫化工序不能夠完全反應(yīng)，未反應(yīng)完全的尾氣中含有大量的三氯 氫硅、四氯化氫硅、氯化氫、氫氣以及二氯二氫硅，尾氣回收工序就是利用上述物質(zhì)的沸點 不同逐一進行分離。分...
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