技術(shù)編號：3441750
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體的吸附分離，具體地講，涉及一種從三氯氫硅生產(chǎn)尾氣中回收氫 氣的方法。背景技術(shù)三氯氫硅又稱三氯硅烷、硅氯仿，是一種易揮發(fā)、易潮解的無色液體，同時也是一 種應(yīng)用廣泛的有機硅單體，廣泛用于有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成， 是有機硅烷偶聯(lián)劑中最基本的單體，也是生產(chǎn)多晶硅的主要原料?，F(xiàn)有技術(shù)中，常見的合成三氯氫硅的方法如下1.合成氯化氫H2+C12 = 2HC1，2.合成三氯氫硅Si+3HC1 = SiHCl3+H2 (主反應(yīng))Si+4...
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