技術(shù)編號：3441742
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體的分離，具體地講，涉及一種從三氯氫硅生產(chǎn)尾氣中回收氯化氫的方法。背景技術(shù)三氯氫硅合成的基本反應(yīng)式為H2+C12 = 2HC1, Si+3HC1 = SiHCl3+H2,在三氯氫硅合成過程中，氯化氫的轉(zhuǎn)化率一般為80%，有約20%的氯化氫未參加反應(yīng)。三氯氫 硅合成尾氣的主要成分有氯化氫、三氯氫硅、四氯化硅、氫氣、氮?dú)狻Ｎ矚庵泻写罅?的氯化物，如果處理不當(dāng)必定會(huì)對環(huán)境產(chǎn)生不良的影響。很明顯，合成爐尾氣均為可回 收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。對尾氣...
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