技術(shù)編號:3441237
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)氮化鋁的方法。相關(guān)技術(shù)的描述氮化鋁(即AlN)具有良好的特性,例如耐熱性、導(dǎo)熱性和電導(dǎo)性,其用途已經(jīng)很廣泛。關(guān)于氮化鋁的用途,可以是用于高溫用途的容器、IC基材等。工業(yè)氮化鋁是在自然界不存在的人工陶瓷。這主要通過兩種方法來生產(chǎn),即氧化鋁的碳還原氮化方法和鋁的直接氮化方法。(a)氧化鋁的碳還原氮化方法,(即)氧化鋁的碳還原氮化方法是這樣一種生產(chǎn)工藝,其中具有高純度的氧化鋁在高溫下(例如1700-1900℃)被石墨和氮氣還原,...
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