技術(shù)編號(hào)：3441184
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化學(xué)合成技術(shù)，特別是涉及一種有改進(jìn)結(jié)構(gòu)的三氯硅烷合成裝置及三 氯硅烷合成方法。背景技術(shù)太陽能電池所使用的多晶硅主要是用三氯硅烷(SiHCl3_TCS)和氫為原料，將混合氣 體導(dǎo)入反應(yīng)室中與熾熱的硅棒接觸，在高溫下，三氯硅烷的氫還原及熱分解而使硅在上述 硅棒表面析出而制得的。所以，三氯硅烷是制造多晶硅的重要原料。三氯硅烷主要是通過用金屬硅粉與氯化氫氣體在280°C 320°C按照下式發(fā)生反 應(yīng)而合成的Si + 3HC1——SiHCl3 + H2 +...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。