技術(shù)編號(hào)：3437294
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于精細(xì)化工領(lǐng)域，具體涉及一種含氯硅垸的氯化氫氣體的回收 方法。背景技術(shù)西門子法多晶硅生產(chǎn)工藝主要有單元有三氯氫硅制備單元；三氯氫硅 精餾單元；尾氣(HC1/H2)回收單元；四氯化硅轉(zhuǎn)化單元和多晶硅成品生產(chǎn) 單元。三氯氫硅制備中經(jīng)冷凝后的一部分含氯硅烷的氯化氫尾氣進(jìn)入放空洗滌 系統(tǒng)用堿液吸收，造成環(huán)保壓力大。多晶硅正常生產(chǎn)時(shí)，尾氣回收單元、四氯化硅轉(zhuǎn)化單元的氯化氫返回三 氯氫硅制備單元與硅粉反應(yīng)制取三氯氫硅，幾乎無氯化氫排放。而當(dāng)裝置生 產(chǎn)不正常時(shí)，...
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