技術(shù)編號：3437134
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多晶硅制造裝置，在加熱后的硅芯棒表面析出多晶硅而 制造多晶硅的桿。本發(fā)明對2008年6月24日申請的日本專利申請第2008-164298號以及 2009年6月5日申請的日本專利申請第2009-135831號的主張優(yōu)先權(quán)，并引 用其內(nèi)容。背景技術(shù)以往，作為多晶硅制造裝置，已知可采用西門子法的技術(shù)。在借助西門 子法的多晶硅制造裝置中，在反應(yīng)爐內(nèi)配設(shè)有多個硅芯棒，反應(yīng)爐內(nèi)的硅芯 棒加熱后，向該反應(yīng)爐中供給由氯硅烷氣體和氫氣的混合氣體構(gòu)成的原料氣 體...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。