技術(shù)編號(hào)：3436879
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，涉及從金屬硅中除去硼的提純方法。 背景技術(shù)多晶硅是太陽能電池的基礎(chǔ)材料，是國家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)外 對(duì)多晶硅的需求量逐年增加，且呈現(xiàn)出供不應(yīng)求的現(xiàn)象。目前國際上生產(chǎn)太陽能電池級(jí) 晶體硅的主要工藝是改良西門子法，它包括除硼的三氯氫硅提純技術(shù)、大型還原爐技術(shù)、氫 氣和氯化氫氣回收的還原爐尾氣回收技術(shù)、四氯化硅氫化技術(shù)等，制造工藝包括氯化_還 原-沉積等過程，十分復(fù)雜。生產(chǎn)時(shí)使用的主要原料是工業(yè)硅、液氯、氫氣等。目前普遍認(rèn)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。