技術(shù)編號(hào)：3431284
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種氣體液體微泵，具體涉及一種基于雙氧水分解的微氧氣泵。用于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。背景技術(shù) 微泵是實(shí)現(xiàn)微流體控制的核心元件，基于MEMS加工技術(shù)的微泵按泵的原理一般可分為兩種類型機(jī)械式和非機(jī)械式。機(jī)械泵按致動(dòng)類型可分為壓電式，氣動(dòng)式，熱氣動(dòng)式，靜電式以及電磁式等等。這些泵的工作原理大致都是利用較高的電壓致動(dòng)薄膜，產(chǎn)生往復(fù)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)液體沿微通道運(yùn)動(dòng)。機(jī)械泵的好處是可以適用于任何液體，而且流速較少受通道內(nèi)液流性質(zhì)和通道內(nèi)壁性質(zhì)影響，可靠性較高。但機(jī)械泵有...
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