技術(shù)編號：3428764
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于離子源和材料表面處理領(lǐng)域，具體涉及一種強流金屬離子源。 背景技術(shù)隨著高能氣體離子源和金屬離子源的發(fā)展，尤其是MEVVA離子源的發(fā)明，離子注 入技術(shù)的應(yīng)用日益廣泛。由于MEVVA離子源能產(chǎn)生大部分金屬和半導(dǎo)體元素的高能離子 流，從而使離子注入技術(shù)的應(yīng)用范圍逐漸擴展。離子注入技術(shù)大量應(yīng)用于金屬材料表面改 性，提高金屬材料的表面性能，如摩擦、磨損和抗腐蝕性能等。同時，離子注入技術(shù)在半導(dǎo)體 和非金屬材料的表面處理中的應(yīng)用也日益廣泛，諸如半導(dǎo)體摻雜和陶瓷表...
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