技術(shù)編號：3428562
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于機械人，具體涉及一種用于在真空鍍膜設備各真空 室之間傳遞基片，并能適應基片交接位置誤差的機械手傳遞裝置。 背景技術(shù)如圖l所示，現(xiàn)有的真空鍍膜工藝過程中，一般是先把基片裝夾在獨立 于真空設備之外的被稱作基片托的夾具上，放入手套箱f內(nèi)的基片臺e上， 設備抽真空后，由預處理真空室g內(nèi)的機械傳遞裝置將基片托連同基片一起 在真空狀態(tài)下傳遞到真空鍍膜室h內(nèi)，并安裝定位到具有旋轉(zhuǎn)和升降功能的 基片工作頭架a上。所述機械傳遞裝置一般由機械手b、機械臂c、機械軀 ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。