技術(shù)編號(hào)：3428215
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明主要涉及研磨、拋光等精密加工領(lǐng)域，尤其適用于CVD金剛石薄膜研磨和拋光的金剛石薄膜研磨方法及其觸媒砂輪。背景技術(shù)CVD金剛石膜機(jī)械式研磨拋光利用游離磨料或金剛石砂輪與CVD金剛石膜表面接觸產(chǎn)生較大的摩擦力，使金剛石表層發(fā)生變形甚至碳鍵斷裂而形成碎屑，從而達(dá)到去除材料的目的。但是，傳統(tǒng)的方法存在以下的弊端加工效率較低，微觀表面質(zhì)量不佳，且容易造成膜的破裂、損傷。發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有CVD金剛石薄膜機(jī)械式研磨拋光工藝的缺點(diǎn)，本發(fā)明提出了一種加工效率和加工...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。