技術(shù)編號(hào)：3428209
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種以選擇性化學(xué)鍍技術(shù)在聚二甲基硅氧垸(PDMS)材料表面上制備薄膜 型金屬微器件的方法。 背景技術(shù)聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一種彈性硅橡膠，具有透明、透氣、穩(wěn)定、成型簡(jiǎn)單、生 物兼容性好、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)，因而被廣泛應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域研制各類(lèi)微流控 芯片和生物芯片。微流控芯片內(nèi)常常需要集成諸如微電極、微加熱器、微熱電偶、微屏蔽器 等各種功能的金屬器件。在玻璃、石英、硅等材料制備的微流控芯片上制備集成化金屬器件 時(shí)，常采用真空濺射沉積-...
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