技術(shù)編號：3427907
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于電池和蓄電池，特別涉及硅基薄膜電池中所應(yīng)用的TC0 (transparentconductiveoxide，透明導(dǎo)電氧化物)薄膜，更具體的 是涉及制備透明導(dǎo)電膜的設(shè)備的腔室系統(tǒng)及其工藝。背景技術(shù)薄膜電池中的TCO膜被當(dāng)作電極使用，其要求具有高透過率，低電阻 和陷光結(jié)構(gòu)的性能。提高這些性能一般采用提高透過率讓更多的光被太陽 電池本征層所吸收，得到更多的載流子，從而提高電池的電流密度；降低 電阻，是通過降低電池的串聯(lián)電阻和并聯(lián)電阻，從而提高電池的發(fā)電...
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