技術(shù)編號(hào)：3427817
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于功能材料領(lǐng)域，涉及一種Al、 F共摻雜的ZnO基透 明導(dǎo)電薄膜及其制備方法，特別是涉及一種制備Al、 F共摻雜的n 型透明導(dǎo)電氧化鋅薄膜的方法。 背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物(transparent conductive oxide ， TCO)薄膜是一 類具有高導(dǎo)電性(高載流子、高遷移率、低電阻率)、在可見光區(qū)具 有高透過率、在紫外光區(qū)又具有高吸收率、同時(shí)對(duì)紅外光具有高反射 率的特殊半導(dǎo)體光電材料。由于具有這些特殊性，TCO薄膜已經(jīng)作 為一個(gè)重要組成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。