技術(shù)編號(hào)：3425168
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及 一 種噴涂包含特化氧化釔陶瓷(specializedyttrium oxide-comprising ceramic)的方法，該特化氧化紀(jì)陶瓷主要包含固溶體陶瓷，其對(duì)半導(dǎo)體 處理設(shè)備中常見(jiàn)的等離子體具有高度抵抗性。背景技術(shù)此部分描述與本發(fā)明公開(kāi)的實(shí)施例相關(guān)的背景主題。此部分中所討論的背景技術(shù) 無(wú)論是表述的還是暗示的都不傾向于構(gòu)成法律意義上的現(xiàn)有技術(shù)。 對(duì)于經(jīng)常處于腐蝕環(huán)境下的半導(dǎo)體處理室內(nèi)的設(shè)備組件與襯墊來(lái)說(shuō)，耐腐蝕性是 相當(dāng)關(guān)鍵的性質(zhì)。雖然半...
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