技術編號：3424761
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種化學刻蝕劑，尤其是一種對光刻膠穩(wěn)定的鎳鈦合金薄膜多元化學刻蝕劑，主要用于鎳鈦系形狀記憶合金薄膜的圖形化化學刻蝕，屬化學?，F(xiàn)有技術中，形狀記憶合金薄膜(特別是鎳鈦系列)被認為是毫米到微米尺度上微驅動器驅動機構的最好選擇之一。與常見的電磁，靜電，壓電，熱膨脹及固溶體相變等原理驅動的微執(zhí)行器相比，單位體積形狀記憶合金薄膜的驅動能量高且位移大，除此之外，還具有回復應力大、工作電壓低、結構簡單、壽命長，對人體無毒害等優(yōu)點。由于可以在硅基體上制作鎳鈦合金...
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