技術編號：3422871
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造裝置的反應爐，特別是涉及大面積的III-V族化合物半導體制造用的水平反應爐。現(xiàn)有技術滿足計算機、通信、多媒體等未來信息領域所必須的高速化、大容量化、廣域化、個人化、智能化、圖像化的化合物半導體元件，大部分是通過取向生長法制造的?；衔锇雽w可以用作顯示器用的發(fā)光二極管(LED)、光通信、CD/VD(激光唱片/錄像盤)用的LD(激光唱片)、受光元件、高速計算機用元件、衛(wèi)星通訊用元件等，可以推測今后可以用于移動通訊、高密度ODD(光學數(shù)字顯...
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