技術(shù)編號：3422382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種研磨墊，尤其是涉及一種用于化學(xué)機(jī)械研磨制 程的研磨墊。背景技術(shù)隨著工業(yè)的發(fā)展，平坦化制程經(jīng)常被采用于生產(chǎn)各種組件。在平坦 化制程中，研磨制程經(jīng)常在工業(yè)中所使用。 一般來說，研磨制程是對被 固定物件施加一壓力以將其壓在研磨墊上，并使被固定物件和研磨墊表 面進(jìn)行相對運(yùn)動，由此相對運(yùn)動產(chǎn)生摩擦，從而可移除部分被固定物件 表面，而使其表面逐漸平坦。一般而言，研磨墊在經(jīng)過一些制造程序而初步完成之后，都會在研 磨墊的背面貼上一層黏著層，并且在黏著層上...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。