技術(shù)編號(hào)：3420639
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于金屬材料表面改性，涉及一種提高薄膜沉積質(zhì)量 的電弧離子鍍?cè)O(shè)備。 背景技術(shù)電弧離子鍍于上個(gè)世紀(jì)60年代產(chǎn)生于前蘇聯(lián)，于80年代初在美國(guó)率先實(shí) 現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，主要應(yīng)用在刀具表面的TiN類硬質(zhì)薄膜的沉積上，由于大幅度提高 刀具的使用壽命，曾引起過一場(chǎng)廣泛的刀具技術(shù)革命，迅速地推動(dòng)了機(jī)械加工 業(yè)的自動(dòng)化生產(chǎn)線的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。此外，電弧離子鍍?cè)谘b飾鍍膜領(lǐng)域也冇著廣 泛的應(yīng)用。電弧離子鍍是離化率最高(70 90%)的離子鍍形式，因此它具有沉積速 率快，膜層致密...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。