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一種反向連接提高固態(tài)源使用效率的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3417322

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本發(fā)明屬于固態(tài)源使用,具體涉及。背景技術(shù)MOCVD是金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相淀積(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英文縮寫。在MOCVD生產(chǎn)中,固體TiOn源使用效率低成為主要的問(wèn)題,對(duì)于固態(tài)TMh源,其飽和蒸汽壓的穩(wěn)定性和使用效率一直是用戶關(guān)注的焦點(diǎn),對(duì)于傳統(tǒng)源瓶, 當(dāng)源的量多時(shí),源瓶?jī)?nèi)的空間較小,上下的飽和蒸汽壓基本相等而且穩(wěn)定。當(dāng)源瓶?jī)?nèi)源的量用到較少時(shí),源瓶?jī)?nèi)空間較大,很難保證頂部和底部的飽和蒸汽壓相同...
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