技術(shù)編號(hào)：3414540
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明特別涉及一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中完成磨角環(huán)節(jié)的多工位自動(dòng)磨角機(jī)。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體芯片手工磨角工藝，是在磨盤電動(dòng)旋轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)上，人工將芯片按壓在磨盤上滑動(dòng)磨角，同時(shí)手動(dòng)填砂，時(shí)間、力度、角度、填砂量都需要工人憑經(jīng)驗(yàn)決定，因此對(duì)工人的能力有很高要求；同時(shí)手工磨角工作效率低，成品率低，對(duì)成品芯片的質(zhì)量也有一定影響。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種工作效率高，成品率高，加工質(zhì)量好，對(duì)工人能力要求較低并可降低生產(chǎn)成本的多工位自...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。