技術編號：3414203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及清洗MOCVD設備用石墨盤的烤盤爐裝置。背景技術LED芯片產生前的LED外延片生長的基本原理是在ー塊加熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和、SiC, Si)上，氣態(tài)物質InGaAlP有控制的輸送到襯底表面，生長出特定單晶薄膜。目前LED外延片生長技術主要采用MOCVD (金屬有機化合物化學氣相淀積)エ藝，MOCVD設備集精密機械、半導體材料、真空電子、流體力學、光學、化學、電腦多學科為一體，是ー種自動化程度高、價格昂貴、技術集成度高的尖端光電子...
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