技術(shù)編號：3412424
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種使用含草酸的蝕刻液，來蝕刻形成有氧化銦錫膜的基板的。背景技術(shù)在制造半導(dǎo)體晶圓、液晶玻璃基板、光罩用基玻璃基板、光碟用基板的各種基板的步驟，有使用蝕刻液來將該等基板蝕刻的步驟。而且，作為用以實施如此的步驟的蝕刻裝置，先前，例如已知在特開2000-96264號公報所公開的。該蝕刻裝置具備儲存槽，其儲存蝕刻液；蝕刻機構(gòu)，其使用蝕刻液來蝕刻基板；及蝕刻用循環(huán)機構(gòu)，其將儲存槽內(nèi)的蝕刻液供給至蝕刻機構(gòu)，同時將所供給的蝕刻液回收至儲存槽內(nèi)，且使蝕刻液在儲存...
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