技術(shù)編號：3412420
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于鐵電薄膜制備，涉及，尤其涉及一種直徑為5英寸或5英寸以上(即大面積)鑭系稀土離子摻雜鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法。背景技術(shù)鐵電材料以其優(yōu)良的鐵電、壓電、介電、熱釋電、光電、聲光、光折變和非線性光學(xué)性能，在存儲器、探測器、微波器件、光波導(dǎo)、光開關(guān)、光調(diào)制、光倍頻、微機械系統(tǒng)(MEMS)等方面具有廣泛的應(yīng)用前景。當(dāng)今，微電子、光電子技術(shù)的飛速發(fā)展，對鐵電材料提出了小型化、薄膜化、高度集成化、智能化的要求。于是，鐵電薄膜及其集成器件的研究成為了鐵電學(xué)研究中...
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