技術(shù)編號:3412016
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型是用于真空蒸鍍的掩模和樣品支架的結(jié)構(gòu)設計。薄膜與大塊材料相比,具有很多特有的性能,正是由于這種特殊的性能,使得薄膜在微電子、光電子、機械、光學、能源等工業(yè)方面和作為傳感器、交換器、裝飾膜、高分子聚合膜的應用越來越廣泛。因此薄膜的制備技術(shù)顯得尤為重要,在很多情況下,薄膜都是在真空條件下進行制備的,制備方法主要有蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、化學氣相沉積等方法。為了滿足不同的需要,薄膜需要制備成不同的形狀。因此,就用到了掩模技術(shù)。掩模就是一塊和需要制備...
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