技術(shù)編號(hào)：3411829
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及產(chǎn)生用于對(duì)襯底表面圖案化的等離子體放電的設(shè)備，具體涉及這樣的設(shè)備，其包括具有第一放電部分的第一電極、具有第二放電部分的第二電極、用于在第一電極和第二電極之間產(chǎn)生高電壓差的高電壓源、和用于相對(duì)于襯底對(duì)第一電極進(jìn)行定位的定位裝置。背景技術(shù)眾所周知，等離子體能夠用于處理表面；通過(guò)等離子體的使用，能夠進(jìn)行蝕刻，以將材料沉積到襯底上和/或改變襯底表面的性質(zhì)，例如將其從疏水的原子附著轉(zhuǎn)變成親水的和化學(xué)的原子附著。后者可以用于例如使塑料襯底金屬化的工藝(例如M...
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