技術編號：3410100
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種大型真空化學氣相沉積石墨化處理多功能爐。 背景技術真空化學氣相沉積是一種被廣泛應用于生產(chǎn)新型材料(如碳-碳復合材料)的工 藝方法。由于這種工藝方法自身的特點，對于沉積爐有特殊的要求，普通的沉積爐或真空爐 均無法滿足其要求。目前，已有能夠基本滿足小尺寸材料或制品進行真空化學氣相沉積的沉積爐。隨 著社會的發(fā)展、技術的進步，航天、航空、交通等諸多領域對化學氣相沉積材料有了更高的 要求，材料或制品的尺寸在向大型化發(fā)展。由于存在爐內溫度均勻性、氣相...
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