技術編號：3407366
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領域，更具體地說，是涉及一種非晶硅薄膜等 離子體增強化學氣相沉積設備。背景技術近年來，太陽能作為一種新的能源已經(jīng)在很多領域得到利用。隨著光伏產(chǎn)業(yè)迅 猛發(fā)展，利用太陽能進行光電轉(zhuǎn)換為人類提供電能又是對太陽能利用的一種最主要的方 式，實現(xiàn)這個轉(zhuǎn)換過程的基本裝置就是太陽能電池。太陽能電池因具有永久性、清潔性 和靈活性的優(yōu)點而成為一種大有前途的新型電源。太陽能電池板是太陽能電池的核心部分，其作用是將太陽能轉(zhuǎn)化為電能，或送 往蓄電池中存儲...
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