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一種新型導(dǎo)電氧化物靶材及導(dǎo)電氧化物薄膜的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3406967

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本發(fā)明涉及,屬于天陽能電池光伏領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著社會(huì)發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn),人類對(duì)功能材料的需求日益迫切。新的功能材料已成為新技術(shù)和新興工業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。隨著顯示器、觸膜屏、半導(dǎo)體、太陽能等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,一種新的功能材料-透明導(dǎo)電氧化物薄膜(transparent conducting oxide,簡(jiǎn)稱為TCO薄膜)隨之產(chǎn)生、發(fā)展起來。所謂透明導(dǎo)電薄膜是指一薄膜材料在可見光范圍內(nèi)的透光率達(dá)到80%以上,而且導(dǎo)電性高,比電阻值低于IxKT3W.cm。習(xí)知Au、...
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