技術(shù)編號:3405343
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種m-v族氮化物半導(dǎo)體的制造方法和發(fā)光器件的制造方法。技術(shù)背景廣泛用于藍色LED等以InxGayAlzN (OSxSl、 0^y^l、 0^z^l、 x+y+^1)式表示的m-v族氮化物半導(dǎo)體, 一般地說,是使竊生長用mh生長棘的。生 長用對反(下面,簡稱為繊)通常題寶石,m-v族氮化物半導(dǎo)體是在藍寶石Sfeil用有機金屬氣相生長(MOVPE) S取向附生的方法制成的。III-V族氮化物半導(dǎo)體隨著廣泛地使用于LED,就要求高的發(fā)光輸出功率。作為...
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