技術(shù)編號(hào)：3405333
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使固體原料升華從而生成成膜用的氣體原料，并將其 向成膜裝置進(jìn)行供給的原料供給裝置、以及使用該原料供給裝置的成 膜裝置。背景技術(shù)現(xiàn)階段，例如，通常采取使用有機(jī)金屬原料氣體在被處理基板上進(jìn)行成膜的方法(例如MOCVD法)。對(duì)于這樣的有機(jī)金屬原料氣體而 言，其中在常溫常壓下多以固體形態(tài)存在。為了在成膜中使用這種固體原料，而有必要使該固體原料升華后 再向成膜裝置進(jìn)行供給。為了使固體原料升華，例如采用對(duì)固體原料 進(jìn)行加熱使其升華并且將該升華的原料與載體氣體...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。