技術編號:3403877
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種拋光裝置。背景技術 現(xiàn)代短波光學、強光光學、電子學及薄膜科學的發(fā)展對表面的要求非??量蹋涿黠@特性是表面粗糙度小于1nm Ra。這類表面用作光學元件時,為獲得最高反射率,特別強調表面低散射特性或極低粗糙度值;用作功能元件時,因多為晶體材料,相對于表面粗糙度而言,更注重表面的晶格完整性。我們統(tǒng)稱這兩類表面為超光滑表面(ultra smooth surface)。超光滑表面微觀起伏的均方根值為幾個原子的尺寸,因此實現(xiàn)超光滑表面加工的關鍵在于實現(xiàn)表...
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