技術(shù)編號(hào):3403819
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及一種表面拋光方法及其設(shè)備,該設(shè)備利用拋光工具對(duì)諸如硅和玻璃的硬制易碎材料以及對(duì)諸如鋼和鋁的金屬材料的表面進(jìn)行拋光;并且特別是涉及一種設(shè)備,該設(shè)備能夠以高效率長(zhǎng)時(shí)間的進(jìn)行高質(zhì)量的拋光加工。這些方法和設(shè)備可以被有效地應(yīng)用于玻璃產(chǎn)品的表面拋光加工以及半導(dǎo)體裝置晶片的表面平整加工。背景技術(shù) 為了平整由諸如硅晶片和玻璃盤(pán)的硬制易碎材料所制成部件的表面,通過(guò)利用松散磨粒(free abrasive grains)執(zhí)行拋光加工。但是,在加工過(guò)程中,有可能發(fā)...
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