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真空處理裝置及光盤的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3402999

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本發(fā)明涉及一種在光盤或光學器件等的基板上連續(xù)地堆積多層膜的。背景技術(shù) 近年來,CD(小型光盤)和DVD(數(shù)字多功能光盤)等光盤逐漸多樣化,從只讀信息媒體到可改寫光信息媒體,有用性不斷提高。作為盤片基板的材料使用成形收縮率和膨脹系數(shù)小的合成樹脂,典型的為聚碳酸酯,在為只讀盤時,在基板面上將信息以凹洞列的形式形成,在為可改寫盤時,在基板面上形成構(gòu)成激光用軌道的引導槽,在其面上堆積形成包括記錄層在內(nèi)的多層膜。圖16表示的是一般的可改寫光盤的結(jié)構(gòu),在0.6mm厚的...
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