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GaN基板的研磨方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3402739

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 作為磁頭滑塊的研磨方法,已知例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)1所載的方法。另外,作為用于研磨磁頭滑塊的研磨液,已知例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)2所載的精研磨用精研油組成物。而作為非磁頭滑塊的GaN基板(氮化鎵基板)的研磨方法,已知例如有非專(zhuān)利文獻(xiàn)1所載的方法。在此方法中,利用粒徑為0.1μm的金剛石研磨膏與仿鹿皮型墊研磨GaN基板后,利用KOH與NaOH的混合液化學(xué)地研磨GaN基板。另外,作為另一,已知例如有專(zhuān)利文獻(xiàn)3所載的方法。在此方法中,利用供應(yīng)至平臺(tái)上的游離磨...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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