技術(shù)編號：3401225
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本專利申請涉及1999年5月21日遞交的、其系列號為NO.60/135358的美國臨時專利申請，并要求該申請的優(yōu)先權(quán)，該專利作為本申請的參考。本發(fā)明涉及一種用于輸送氣體的氣體輸送定量分配(metering)管。本發(fā)明特別是涉及一種軸向?qū)R的套疊式或者同軸氣體輸送定量分配管，該定量分配管可以基本上實現(xiàn)氣體的均勻分布。氣體輸送在許多工業(yè)中起重要的作用。例如，在半導(dǎo)體處理或者制造領(lǐng)域，氣體輸送起著至關(guān)重要的作用。一種類型的半導(dǎo)體處理方法是化學(xué)蒸汽沉淀法。當(dāng)利用熱...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。