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技術(shù)編號：3401170

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本實用新型涉及一種用于混合工藝氣體的氣體混合器，尤其涉及在工藝氣體被送入化學(xué)氣相沉積室內(nèi)前，用于混合工藝氣體的混合器。背景技術(shù)在平面顯示器的制造工藝中由于需要在基板上制作晶體管組件，因此在工藝中需要鍍上不同的材質(zhì)，諸如SiO2、SiNx、a-Si與n+a-Si等薄膜。目前多采用等離子增強化學(xué)氣象沉積系統(tǒng)(PECVD，Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition)來成長。PECVD乃是于真空系統(tǒng)中，在通入工藝氣體后以等離子...
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