亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

彈性連接一大面積靶的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3400921

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及用于電子裝置制造中的濺鍍靶,特別是涉及將該濺鍍靶連接至一背板(backing plate)的方法,在淀積腔中由該背板支撐該濺鍍靶。背景技術(shù) 物理氣相淀積(PVD)是電子裝置制造中最常用的制程之一。PVD是在一個(gè)真空腔中進(jìn)行的等離子制程,在該真空腔中,負(fù)偏壓的靶曝露在包含具有較重原子(例如,氬氣)的惰性氣體的等離子中,或曝露在包含這類惰性氣體的混合氣體中。通過(guò)惰性氣體對(duì)靶的轟擊(或?yàn)R鍍)會(huì)造成靶材料的原子的發(fā)射。射出的原子會(huì)在真空腔內(nèi)的基板上累積為...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 王老師:功能高分子材料,污水處理,電化學(xué)合成
  • 趙老師:1.?金屬材料表面改性技術(shù) 2.?超硬陶瓷材料制備與表面硬化 3.?規(guī)整納米材料制備及應(yīng)用研究
  • 王老師:1.數(shù)字信號(hào)處理 2.傳感器技術(shù)及應(yīng)用 3.機(jī)電一體化產(chǎn)品開(kāi)發(fā) 4.機(jī)械工程測(cè)試技術(shù) 5.逆向工程技術(shù)研究
  • 王老師:1.精密/超精密加工技術(shù) 2.超聲波特種加工 3.超聲/電火花復(fù)合加工 4.超聲/激光復(fù)合加工 5.復(fù)合能量材料表面改性 6.航空航天特種裝備研發(fā)
  • 郝老師:1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
  • 劉老師:非常規(guī)環(huán)境下二次電池關(guān)鍵材料與電化學(xué)機(jī)理,鋰/鈉離子電池,鋰-空氣電池關(guān)鍵材料,多孔合金電極材料,新型二次電池的設(shè)計(jì)與改性。
  • 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
  • 王老師:機(jī)械制造