技術(shù)編號：3400462
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于加工物體的姿勢控制器以及一種配備有該姿勢控制器的精密加工設(shè)備，該物體例如為硅片或磁盤基片，其加工后的表面需要具有很高的形狀/尺寸精度和很高的平面度。更具體地，本發(fā)明涉及能夠根據(jù)磨削階段高精度地控制安放在姿勢控制器上的物體的姿勢的姿勢控制器和精密加工設(shè)備。背景技術(shù) 最近，在減小下一代功率器件的尺寸的同時(shí)，對減小該器件的能量損耗的需求在逐漸增加。這種需求的一個(gè)示例包括需要增加用于電子器件用途的半導(dǎo)體多層結(jié)構(gòu)中的層數(shù)并增大半導(dǎo)體器件的組裝密度。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。