技術(shù)編號：3400266
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種形成用于有機半導體器件等有機薄膜的有機物蒸鍍裝置，尤其涉及將基片直立為約垂直的狀態(tài)下蒸鍍有機物而形成有機薄膜的一種有機物蒸鍍裝置，以此可以適用于大型基片，并可以形成厚度均勻的有機薄膜。背景技術(shù) 一般，包含有機電致發(fā)光器件(OLED，Organic light Emitting Device)等的有機半導體器件的有機薄膜形成方法大致分為在真空中蒸發(fā)低分子有機物質(zhì)來形成有機薄膜的方法；在溶劑里溶解高分子有機物質(zhì)之后，利用旋轉(zhuǎn)涂層(spin coa...
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