技術編號：3400000
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術 在過去十多年里在世界范圍內，硅基高效發(fā)光薄膜的探索與制備得到廣泛關注。高效可調可見光全波段發(fā)光的硅基材料，可應用于光互聯、光通信及全硅平面顯示等，特別是它與目前較為成熟的微電子技術的結合，將會極大推動信息技術等領域的革命性進步。但是，由于發(fā)光效率低、與現行半導體工藝過程的兼容性差等問題，導致硅基發(fā)光材料距離實際生產應用仍然存在一定距離。目前國際上使用的制備硅基發(fā)光薄膜的方法有PECVD(plasmaenhanced chemica...
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