技術(shù)編號：3395683
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明有關(guān)一種用于，尤其是有關(guān)一種用于形成一高度集成半導(dǎo)體裝置之金屬接線的方法。一般而言，半導(dǎo)體裝置具有一接線被適配成將有關(guān)的元件相互電連接或是電連接到一外部電路。此一接線通過將一接線材料埋入接觸孔和導(dǎo)通孔來形成一接線層，并接著處理該接線層而形成。在需要一低電阻的情況下，典型地為使用一金屬接線。此一金屬接線由含有少量矽或銅的鋁基材料，或者是含有矽和銅并呈現(xiàn)出低比電阻和優(yōu)良加工性的鋁合金所制成。為了要形成此一金屬接線，一種方法已被廣泛采用，其中一接線材料是依...
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