技術(shù)編號(hào)：3394124
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種一般產(chǎn)業(yè)用或使用于半導(dǎo)體制造裝置的排氣泵系統(tǒng)、特別涉及一種由于其故障的預(yù)防而實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)壽命化的真空排氣裝置。背景技術(shù) 對(duì)在一般的產(chǎn)業(yè)或半導(dǎo)體制造裝置中廣泛使用的現(xiàn)有的排氣泵系統(tǒng)的問(wèn)題進(jìn)行敘述。作為一個(gè)例子，對(duì)于使用于檢壓化學(xué)氣相沉積(CVD)裝置的排氣泵系統(tǒng)、特別是使用于氮化硅膜(Si3N4膜)的CVD裝置的排氣系統(tǒng)的問(wèn)題進(jìn)行敘述。過(guò)去，由減壓CVD法進(jìn)行的氮化硅膜的成膜，在減壓下，作為硅源極使用二氯甲硅烷(SiH2Ci2)氣體、作為氮化種的氨...
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