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耐久的濺射金屬氧化物鍍層的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3392762

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本發(fā)明普通涉及濺射薄膜的技術(shù),特別是用磁控濺射制備耐久的金屬氧化物薄膜的技術(shù)。濺射的金屬氧化物薄膜在現(xiàn)有技術(shù)中是眾所周知的。已知道氧化錫、氧化鋅、氧化鈦和許多其它的金屬氧化物是通過(guò)相應(yīng)的金屬在氧化氣氛例如空氣或氧氣和惰性氣體(如氬氣)的混合氣體中濺射而沉積的。還知道金屬薄膜可以通過(guò)在惰性氣體(如氬氣)中濺射金屬來(lái)沉積。而且金屬薄膜接著通過(guò)在一種氧化氣氛(如空氣)中被加熱而熱氧化。許多金屬可以沉積為金屬薄膜或金屬氧化物薄膜,這取決于金屬陰極靶是在惰性氣氛還是...
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