技術(shù)編號(hào)：3392273
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使固體材料在真空中受控升華與對(duì)所產(chǎn)生蒸氣流入一真空室的流量進(jìn)行精確控制而幾乎不存在壓降的結(jié)合。其一重要應(yīng)用是將蒸氣以受控方式饋入一離子源的被抽成真空的離子化室內(nèi)以產(chǎn)生一離子束。所述離子束可用于對(duì)半導(dǎo)體襯底進(jìn)行離子植入。另一重要應(yīng)用是使蒸氣以受控方式流入一真空處理室內(nèi)以便與一工件相互作用。背景技術(shù) 離子源的離子化室是在真空下工作并要求以非常高的精確度及可再現(xiàn)性以氣態(tài)形式饋送要被離子化的材料。許多制造工藝也是在真空中實(shí)施。那些包含與工件進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。