技術編號：3389852
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。,尤其是超導氧化物膜的方法和設備的制作方法本發(fā)明涉及一種涂層材料膜的沉積方法和設備，尤其涉及在制備超導復合帶工藝中對超導氧化物膜和/或緩沖層的沉積的方法和設備。背景技術 大規(guī)模生產在柔性金屬帶上沉積的YBCO或REBCO超導膜的可能性具有很大的工業(yè)價值。這種材料的制備需要對超導膜進行完全的原位氧化，以將氧缺陷限制到低于0.1的值。在常規(guī)的真空沉積技術中，相對于真空室內的平均氧分壓，超導薄膜的氧化需要生長膜表面上的有效氧分壓局部增加。涉及熱共蒸發(fā)的原位氧化設...
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